美國能源部兩大國家實驗室與NY Creates啟動高數值孔徑EUV微電子試點計畫

AI生成概念示意圖：以光學玻璃稜鏡、石台上的晶片、牛皮紙研究檔案夾與黃銅鑷子表現極紫外光刻研發與微電子中試協同，並非真實光刻設備或實驗室照片。

同步輻射X射線束線對接奧爾巴尼高數值孔徑EUV光刻中心

美國能源部科學辦公室下屬的布魯克海文國家實驗室（BNL）、勞倫斯伯克利國家實驗室（LBNL）與非營利半導體研發機構 NY Creates 於2026年11月5日聯合宣布，正式啟動微電子試點計畫（發布編號 2026-23197），旨在降低晶片製造商、設備商與材料團隊使用國家級重大科研設施的門檻。根據公告，三方團隊已於2026年9月在紐約州奧爾巴尼奈米技術綜合體（Albany NanoTech Complex）舉行啟動會議並完成設施考察，重點圍繞光刻（包含低數值孔徑與下一代高數值孔徑極紫外光刻 High-NA EUV）和奈米計量兩大領域展開競爭前研發，以支持超級智慧（SI）等高能效微電子器件的開發。¹²

在設施分工上，布魯克海文國家實驗室提供國家同步輻射光源二期（NSLS-II，含硬X射線奈米探針束線 HXN）及功能奈米材料中心（CFN）的X射線散射、光譜與奈米尺度成像能力；該實驗室擁有近3000名員工，每年接待逾5000名訪問研究人員。勞倫斯伯克利國家實驗室則貢獻先進光源（ALS，含X射線光學中心 CXRO）與分子鑄造廠（Molecular Foundry）在13.5奈米EUV圖案化、軟X射線同步輻射及科學運算方面的積累。NY Creates 則依托奧爾巴尼奈米技術綜合體及其高數值孔徑EUV光刻中心提供「從實驗室到晶圓廠」（lab-to-fab）的中試橋樑，其生態體系匯聚逾2700名行業專家與學者，累計撬動公私投資逾250億美元。¹²

AI即時疊層衍射成像實現每秒200幅重建，但試點未披露專項經費與商業流片時間表

作為微電子奈米計量的配套技術進展，布魯克海文國家實驗室於11月4日披露了由勞倫斯伯克利國家實驗室牽頭、納入美國能源部「創世紀使命」（Genesis Mission）的跨實驗室專案 SYNAPS-I（協同中子與光子科學—智慧）。在 NSLS-II 的硬X射線奈米探針束線測試中，研究團隊結合 NVIDIA Holoscan 邊緣運算平台與 Meta 的分割模型 SAM3，僅使用常規斷層掃描十分之一的數據量，即以每秒200幅圖像的速度完成了三維微晶片結構的即時X射線疊層衍射（ptychography）重建，將原本需數週的離線分析壓縮至束線實驗運行期間即時完成。³

需要明確區分的是，11月5日宣布的微電子試點計畫目前處於競爭前（pre-competitive）科研協同與工作流打通階段：美國能源部科學辦公室、兩大國家實驗室及 NY Creates 均未在公告中披露該試點計畫的專項美元撥款數額，也未公布具體商業晶片製造企業的簽約名單或量產流片時間表。同步輻射束線的高解析度計量與即時AI重建能夠加速光阻劑化學反應機理和奈米缺陷表徵，但從實驗室計量方法驗證到商業晶圓廠良率提升仍取決於後續產業界專案的具體導入。¹²³

來源與說明

1. 2026-11-05 · DOE Labs and NY Creates Partner to Advance U.S. Microelectronics · 布魯克海文國家實驗室. ↩ ↩² ↩³

2. 2026-11-05 · DOE Labs and NY Creates Partner to Advance U.S. Microelectronics · NY Creates. ↩ ↩² ↩³

3. 2026-11-04 · Transforming How Scientists Study Advanced Microchips with AI · 布魯克海文國家實驗室. ↩ ↩²