Deux laboratoires nationaux américains et NY Creates lancent un programme pilote de lithographie EUV High-NA et de métrologie

Illustration conceptuelle générée par l’IA : des prismes en verre optique, une puce sur un bloc de pierre, un dossier vierge et des brucelles en laiton symbolisent la recherche en lithographie EUV et la microélectronique, sans représenter un équipement réel.

Les installations synchrotron à rayons X s’articulent avec le centre de lithographie EUV High-NA d’Albany

Le Brookhaven National Laboratory (BNL), le Lawrence Berkeley National Laboratory (LBNL) et l’organisation de recherche en semi-conducteurs à but non lucratif NY Creates ont annoncé le 5 novembre 2026 le lancement d’un programme pilote en microélectronique (communiqué 2026-23197) financé par le Bureau des sciences du département américain de l’Énergie (DOE). Après une réunion de lancement et une visite des installations au complexe Albany NanoTech dans l’État de New York en septembre 2026, l’initiative vise à faciliter l’accès des fabricants de puces, des équipementiers et des spécialistes des matériaux à la R&D précompétitive dans deux domaines : la lithographie — y compris la lithographie extrême ultraviolet à haute ouverture numérique (High-NA EUV) — et la métrologie nanométrique destinée aux puces sobres en énergie pour la Super Intelligence (SI).¹²

Chaque partenaire mobilise des équipements complémentaires. Brookhaven met à disposition la diffusion des rayons X, la spectroscopie et l’imagerie nanométrique de la source nationale de lumière synchrotron II (NSLS-II, dont la ligne Hard X-ray Nanoprobe HXN) ainsi que le Center for Functional Nanomaterials (CFN), au sein d’un laboratoire comptant près de 3 000 employés et accueillant plus de 5 000 chercheurs invités par an. Le laboratoire de Berkeley apporte l’expertise du Center for X-ray Optics (CXRO) sur l’Advanced Light Source (ALS), la Molecular Foundry et le calcul scientifique. De son côté, NY Creates assure la passerelle entre laboratoire et fonderie (lab-to-fab) grâce au complexe d’Albany, qui réunit plus de 2 700 experts et chercheurs et 25 milliards de dollars d’investissements publics et privés.¹²

La ptychographie assistée par IA atteint 200 images par seconde, mais le programme pilote reste précompétitif sans budget détaillé

En complément de ce volet métrologique, Brookhaven a présenté le 4 novembre 2026 les résultats du projet inter-laboratoires SYNAPS-I (Synergistic Neutron and Photon Science – Intelligence), dirigé par le laboratoire de Berkeley dans le cadre de la Genesis Mission du DOE. Testé sur la ligne HXN de NSLS-II à l’aide de la plateforme NVIDIA Holoscan et du modèle de segmentation Meta SAM3, le dispositif a reconstruit en trois dimensions des structures de micropuces par ptychographie aux rayons X à une cadence de 200 images par seconde en n’utilisant qu’un dixième du volume habituel de données tomographiques, ramenant des semaines d’analyse hors ligne à un traitement en temps réel pendant l’expérience.³

Le communiqué du 5 novembre comporte toutefois des limites de portée explicites : ce programme pilote repose sur des ateliers précompétitifs, des flux de travail partagés et un accès simplifié aux instruments scientifiques, et non sur une ligne de production commerciale. Ni le Bureau des sciences du DOE, ni les deux laboratoires nationaux, ni NY Creates n’ont communiqué de montant financier spécifique pour ce programme pilote, de liste d’industriels signataires ou de calendrier de fabrication commerciale. Si la métrologie synchrotron et la reconstruction par IA éclairent la chimie des résines photosensibles et la détection de défauts nanométriques, leur traduction en rendements industriels dépendra des projets d’application ultérieurs.¹²³

Notes et sources

1. 2026-11-05 · DOE Labs and NY Creates Partner to Advance U.S. Microelectronics · Brookhaven National Laboratory. ↩ ↩² ↩³

2. 2026-11-05 · DOE Labs and NY Creates Partner to Advance U.S. Microelectronics · NY Creates. ↩ ↩² ↩³

3. 2026-11-04 · Transforming How Scientists Study Advanced Microchips with AI · Brookhaven National Laboratory. ↩ ↩²